近年來(lái)，我國半導體產(chǎn)業(yè)進(jìn)入發(fā)展的新時(shí)代，機會(huì )和挑戰并存。根據《中國半導體產(chǎn)業(yè)報告2023》的數據，目前我國大陸半導體相關(guān)設計行業(yè)的年總銷(xiāo)售額為543億美金，到2027年，這個(gè)數字將超過(guò)1000億美金。半導體產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展背后，其產(chǎn)生的環(huán)境污染問(wèn)題成為新的挑戰，也成為行業(yè)發(fā)展“卡脖子”的難題。

如何讓經(jīng)濟發(fā)展與環(huán)境保護和諧共存，是一個(gè)讓管理部門(mén)、老百姓和企業(yè)都苦惱的問(wèn)題，而這也促生了一批幫助半導體企業(yè)提升環(huán)保技術(shù)的環(huán)保科技和咨詢(xún)公司。總部位于廣東惠州的劉榮珍就是這些公司中的一員，他與他的團隊研發(fā)出一系列環(huán)保專(zhuān)利，為中國半導體企業(yè)的發(fā)展提供技術(shù)支持。

劉榮珍參加環(huán)保技術(shù)行業(yè)的國際會(huì )議

2000年初開(kāi)始，當時(shí)的劉榮珍在一家做工業(yè)碳排放的國際環(huán)保企業(yè)工作，10多年的工作經(jīng)驗，讓他深刻認識到環(huán)保技術(shù)對半導體公司的重要性。做好環(huán)保方案不僅能夠減少工業(yè)對環(huán)境的污染，同時(shí)也能通過(guò)對生產(chǎn)工藝中的貴重金屬的再次提煉回收，為企業(yè)創(chuàng )造經(jīng)濟效益，讓企業(yè)做環(huán)保的同時(shí)產(chǎn)生經(jīng)濟回報。

于是，10年后，劉榮珍組建自己的環(huán)保技術(shù)團隊，致力于為半導體企業(yè)提供環(huán)保技術(shù)和解決方案。半導體企業(yè)在產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中，通常需要運用到幾十種化學(xué)產(chǎn)品，在生產(chǎn)過(guò)程中，不同的物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)反應，產(chǎn)生大量有害物質(zhì)。例如，半導器件要洗干凈，為了防止其氧化，生產(chǎn)過(guò)程需要注入相關(guān)特種氣體，進(jìn)行蝕刻和剝離，工藝中后續光刻膠水覆蓋，進(jìn)而需要光刻膠清洗工藝的加入，這些工藝過(guò)程反復進(jìn)行、交替，產(chǎn)生的有害氣體對人體和環(huán)境的危害是極大的。可以說(shuō)，半導體行業(yè)的環(huán)保問(wèn)題是復雜的、多元的、且特殊的，不同的工藝就涉及到了不同的技術(shù)和解決方案。

因此，在半導體行業(yè)的高速發(fā)展的同時(shí)，如何解決環(huán)保技術(shù)的提升迫在眉睫。這一點(diǎn)，劉榮珍和他的團隊緊記心中，在10幾年間創(chuàng )新了20多個(gè)技術(shù)，擁有20幾項專(zhuān)利。其中，“特種氣體保護和催化技術(shù)”專(zhuān)利技術(shù)的完成讓劉榮珍記憶深刻。

2010年，劉榮珍和他的團隊在為半導體企業(yè)做環(huán)保技術(shù)服務(wù)過(guò)程中，完成了“特種氣體保護和催化技術(shù)”的專(zhuān)利。這一專(zhuān)利技術(shù)源自于劉榮珍團隊與韓國、臺灣半導體生產(chǎn)團隊的合作，他說(shuō)“這是一個(gè)從非常不信任、到試試看、到試的過(guò)程依然不信任、反復溝通、到逐步被認可的過(guò)程，非常艱難”。

因為在半導體行業(yè)的環(huán)保問(wèn)題復雜且具有獨特性，每家公司都各有不同，環(huán)保技術(shù)公司需要通過(guò)獲得半導體公司共享的工藝參數、材料等資料，才能據此設計出有針對性的、高效的環(huán)保技術(shù)和方案。有的公司產(chǎn)品設計到了130多種材料，且大部分都是日韓、歐美的海外供應商，這一復雜的情況對環(huán)保公司不僅提高技術(shù)高門(mén)檻，同時(shí)也對彼此之間的信任提出較高要求。

劉榮珍認為，自己的這一經(jīng)歷也反映了眾多國內環(huán)保技術(shù)公司在面對跨文化、跨行業(yè)、跨技術(shù)的合作中常常遇到的困境。

劉榮珍進(jìn)行環(huán)保技術(shù)宣講

“特種氣體保護和催化技術(shù)”技術(shù)是專(zhuān)門(mén)針對半導體公司在生產(chǎn)工藝的環(huán)保技術(shù)，降低了其生產(chǎn)過(guò)程中90%的有害氣體，同時(shí)，提高了良品率。劉榮珍舉了一個(gè)例子，他的團隊為一個(gè)液晶面板生產(chǎn)公司提供了環(huán)保技術(shù)方案，基于該專(zhuān)利技術(shù)的基礎將其良品率從60%提到了95%。

劉榮珍說(shuō)，“如果生產(chǎn)一塊2.2*2.5米的液晶屏，良品率提高到95%，能夠為企業(yè)一年多賺幾十億人民幣。”

基于這一技術(shù)，劉榮珍還為Mini/MicroLED提出環(huán)保方案，其生產(chǎn)封裝過(guò)程中容易出現微電線(xiàn)路斷路等問(wèn)題，劉榮珍和他的團隊提出了曾經(jīng)在液晶面板中成功運用的特種氣體保護封裝工藝，大幅度提高了產(chǎn)品的良品率。多種特種氣體的保護技術(shù)有效隔離了空氣中的其它反應氣體，隔離阻斷電子材料加工組裝過(guò)程中的化學(xué)反應。劉榮珍提出用特種氣體催化液晶面板的玻璃基板在蝕刻、蒸鍍工藝中產(chǎn)生大量有害化學(xué)氣體和有害金屬粉塵的技術(shù)方案，很好的解決了長(cháng)期困擾企業(yè)廢氣排放污染的問(wèn)題，這項創(chuàng )新工藝技術(shù)累計為其服務(wù)的國內幾家企業(yè)節省了約36億元的不良廢品損失。

除了“特種氣體保護和催化技術(shù)”，劉榮珍和他的團隊還擁有電池回收方面在內的20多項環(huán)保專(zhuān)利技術(shù)，致力發(fā)展電動(dòng)汽車(chē)動(dòng)力電池的回收技術(shù)設備，推動(dòng)全球環(huán)保的商業(yè)價(jià)值。劉榮珍認為，中國的環(huán)保技術(shù)要提高，需要企業(yè)積極參與到環(huán)保技術(shù)行業(yè)，需要用市場(chǎng)價(jià)值的機制去吸引企業(yè)參與，完成從“以人監管”到“技術(shù)監管”的改變。

劉榮珍和他的團隊目前擁有的專(zhuān)利包括，半導體行業(yè)含銅蝕刻廢液資源化利用及無(wú)害化處理的方法、一種電子行業(yè)高濃度有機廢水的處理方法、一種點(diǎn)陣式背光源結構以及顯示裝置、一種黑矩陣形成方法、顯示模組及顯示裝置等，這些專(zhuān)利技術(shù)和環(huán)保技術(shù)均已被行業(yè)企業(yè)認同，同行業(yè)各企業(yè)現已推廣運用。